光学定数の解析用データ             いさお光工房
光学定数が簡単に求められます。
光学定数算出に必要なデータ要件お願いこの用件は、あまり深刻に考えないで下さい。ここでは、理想的なことを述べています。
普通のサンプルや普通の測定で大抵うまく行きます。)
(膜付基板)
1 1ー1 測定された試料の要件:透明な基板に均質な単層膜が形成された物。
   (なお、弱光吸収性基板やほぼ均質な膜にも対応できます。)
  1ー2 膜厚:測定された試料の膜厚測定値あるいは推定値。(実測値が望ましくはありますが。)
2 膜面からほぼ垂直に入射する光の分光反射率と分光透過率。
  2ー1 反射率はアルミニウム蒸着標準反射ミラーに対する反射率相対値 あるいは、いわゆるVN法による反射率絶対値。
  2ー2 測定波長は求めたい光学定数の波長とそれに 10〜50 nm 隣接した1波長以上。(求めたい波長を挟む1波長づつで十分です。)
  2ー3 入射角は通常 5度とか7度とかですが,0〜10度は可です。これらは垂直入射(入射角0度)として扱うことができます。
3 解析可能な透過率要件
  3ー1 透過率 T の範囲 : T > 0.5 %
  3−2 透過率 2 % 以下は、分光光度計であれば,吸光度モード(ABSモード)で測定して下さい。なお, 吸光度は、吸光度(ABS)=log10T で定義されます。
  3ー3 必要な透過率が得られない場合は、膜厚 d を薄くする方向でご検討ください。光吸収性の膜は,透過率と膜厚と下記の関係にあります。 T〜exp(−α・d)  ここで、αは薄膜の吸収係数で ,α=4πk/λ により与えられます。 kは消衰係数,λは波長です。
膜付基板 については、膜付基板データ一覧 及び 膜付基板データ一覧2もご参照下さい。
基板
4 基板データ
 光学定数の解析には、基板の光学定数と基板の板厚(吸収性基板の場合)も必要です。
 4ー1 透明基板の場合
     基板の分光透過率または、基板の分光透過率。
 4ー2 吸収性基板(半透明基板)の場合
     基板の板厚,基板の分光透過率と基板の分光反射率
 4ー3 反射率相対値,反射率絶対値,測定波長,入射角については、上述の膜付基板に準じます
 4ー4 良く知られた基板
     合成石英、青板ガラス(ソーダライムガラス),無アルカリガラス,フッカカルシウムなど,良く知られた基板については、基板の種類とカタログ等記載の屈折率データをお知らせいただければ、基板の測定データを省略できる場合があります。ご相談ください。 
基板 については、石英基板データ一覧 及び 石英基板データ一覧2もご参照下さい。
 

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