光学定数の解析　エクセルデータ　２　　MoSiON 膜　　　　　いさお光工房

石英基板データ一覧２

１　石英基板データ

（石英基板データ関係の表）

１－１　石英基板分光測定値

１－２　石英基板光学定数解析結果

（石英基板データ関係のグラフ）

１－１－１　石英基板分光測定値グラフ

１－２－１　石英基板光学解析結果グラフ

石英基板データ一覧表

（石英基板データ関係の表） （石英基板データ関係のグラフ）
測定データ １－１　石英基板分光測定値 １－１－１　石英基板分光測定値グラフ
解析結果 １－２　石英基板光学定数解析結果 １－２－１　石英基板光学解析結果グラフ



膜付基板データ一覧２

２　膜付基板データ

（膜付基板データ関係の表）

２－１　膜付基板分光測定値

２－２　光学定数解析結果　―　多重解光学定数と誤差＊

２－３　最適解光学定数計算膜厚依存性

２－４　光学定数波長特性　―　計算膜厚をパラメータとして

（膜付基板データ関係のグラフ）

２－１－１　膜付基板分光カーブ測定値

２－２－１　最適解の光学定数と位相差グラフ

２－２－２　多重解誤差の波長依存性

２－２－３　多重解の光学定数の波長依存性

２－３－１　最適解誤差の計算膜厚依存性　

２－３－２　最適解光学定数の計算膜厚依存性

２－４－１　光学定数と誤差の波長特性　―　計算膜厚をパラメータとして

膜付基板データ一覧表

（膜付基板データ関係の表） （膜付基板データ関係のグラフ）
測定データ ２－１　膜付基板分光測定値 ２－１－１　膜付基板分光カーブ測定値
解析結果 ２－２　光学定数解析結果　―　多重解光学定数と誤差＊ ２－２－１　最適解の光学定数と位相差グラフ
２－２－２　多重解誤差の波長依存性
２－２－３　多重解の光学定数の波長依存性
解析結果 ２－３　最適解光学定数計算膜厚依存性 ２－３－１　最適解誤差の計算膜厚依存性
２－３－２　最適解光学定数の計算膜厚依存性
解析結果 ２－４　光学定数波長特性　―　計算膜厚をパラメータとして ２－４－１　光学定数と誤差の波長特性　―　計算膜厚をパラメータとして


リンク表


１　石英基板データ

（石英基板データ関係の表）

１－１　石英基板分光測定値

　 　　　　　　　光学定数解析用データサンプル２
石英基板
板厚 波長　 反射率相対値 反射率 透過率
ｔ l RR R T
ｍｍ ｎｍ ％ ％ ％
1.00 200 4.512 3.596 96.404
240 3.971 3.571 96.429
248 3.896 3.521 96.479
260 3.841 3.497 96.503
300 3.774 3.472 96.528
350 3.742 3.447 96.553
365 3.727 3.435 96.565
380 3.683 3.398 96.602
420 3.659 3.374 96.626
436 3.661 3.374 96.626
450 3.660 3.374 96.626
488 3.664 3.374 96.626
546 3.682 3.374 96.626
600 3.638 3.313 96.687

１－２　石英基板光学定数解析結果

石英基板光学定数解析結果
波長　 屈折率 消衰弱係数
l ｎ ｋ
ｎｍ
200 1.4680 0.0000
240 1.4660 0.0000
248 1.4620 0.0000
260 1.4600 0.0000
300 1.4580 0.0000
350 1.4560 0.0000
365 1.4550 0.0000
380 1.4520 0.0000
420 1.4500 0.0000
436 1.4500 0.0000
450 1.4500 0.0000
488 1.4500 0.0000
546 1.4500 0.0000
600 1.4450 0.0000

（石英基板データ関係のグラフ）

１－１－１　石英基板分光測定値グラフ



１－２－１　石英基板光学定数解析結果グラフ


２　膜付基板データ

（膜付基板データ関係の表）

２－１　膜付基板分光測定値

光学定数解析用データサンプル２
膜付基板
膜厚 波長　 反射率相対値 反射率 透過率
ｄ l RR R T
ｎｍ ｎｍ ％ ％ ％
46.4 200 13.126 12.175 13.688
240 14.954 13.772 19.229
248 15.529 14.298 20.517
260 16.495 15.181 22.645
300 20.887 19.236 28.340
350 25.146 23.219 32.890
365 26.022 24.048 34.124
380 26.802 24.781 35.446
420 28.028 25.953 37.757
436 28.233 26.158 38.648
450 28.476 26.346 39.383
488 28.778 26.537 41.278
546 28.548 26.159 43.883
600 28.259 25.687 46.318


２－２　光学定数解析結果　―　多重解光学定数と誤差＊

光学定数解析用データサンプル２ 膜光学定数と誤差
単層膜付基板 膜厚：46.4　ｎｍ
最適解 その他の解
波長　 屈折率1 消衰弱係数1 位相差1　 位相差1　 誤差１ 屈折率2 消衰弱係数2 誤差２ 屈折率3 消衰弱係数3 誤差３ 屈折率4 消衰弱係数4 誤差４
l ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均
ｎｍ 度 ×２０度 ％ ％ ％ ％
200 1.9209 0.6426 72.90 3.645 0.353 1.1625 0.7190 0.468
240 1.9792 0.6312 63.28 3.164 0.339 1.2149 0.7193 0.379
248 1.9988 0.6225 62.22 3.111 0.387 1.1911 0.7187 0.437
260 2.0417 0.6023 61.67 3.084 1.181 1.1374 0.7161 1.532
300 2.2100 0.5483 61.32 3.066 1.215 0.9350 0.7482 3.191 2.6904 0.5122 2.740 3.4011 0.4453 12.620
350 2.2154 0.5211 51.77 2.589 0.695 0.7740 0.8344 2.810 3.1826 0.4550 12.620 4.1067 0.3678 12.620
365 2.2151 0.5116 49.51 2.476 0.395 0.7365 0.8609 1.091 3.3483 0.4372 2.562 4.2932 0.3483 5.725
380 2.2185 0.4982 47.67 2.384 0.439 0.6979 0.8861 1.969 3.5118 0.4171 5.607 4.4750 0.3288 8.309
420 2.2194 0.4855 43.20 2.160 0.317 0.6431 0.9615 2.058 3.9676 0.3828 5.447 4.9316 0.2984 13.673
436 2.2182 0.4807 41.66 2.083 0.183 0.6289 0.9874 0.954 4.1526 0.3701 4.075
450 2.2213 0.4759 40.57 2.029 0.284 0.6155 1.0111 1.498 4.3110 0.3590 7.884
488 2.2281 0.4641 37.98 1.899 0.399 0.5883 1.0695 2.382 4.7422 0.3325 14.563
546 2.2342 0.4518 34.71 1.736 0.482 0.5686 1.1419 2.317
600 2.2492 0.4347 32.66 1.633 0.575 0.5459 1.2013 2.048
DＲ+DTの平均：　＝　　　　　　　 ΔＲ ＝｜Ｒ （計算値）- Ｒ （測定値）｜ ，ΔT＝｜Ｔ（計算値）-Ｔ（測定値）｜， 平均＝∑（ΔR +ΔT）／波長の数（普通３）

誤差＊：これは、いわゆる分光特性のカーブフィテング誤差のことで光学定数の誤差ではありません。光学定数の誤差のと光学定数の波長依存性（いわゆる分散）の分光特性への反映であります。以下同様に誤差といえば、いわゆる分光特性のカーブフィテング誤差のことです。
表で、ＤＲ+DTの平均：　＝　ΔＲ ＝｜Ｒ （計算値）- Ｒ （測定値）｜ ，ΔT＝｜Ｔ（計算値）-Ｔ（測定値）｜， 平均＝∑（ΔR +ΔT）／波長の数（普通３）

２－３　最適解光学定数計算膜厚依存性　（計算膜厚：計算膜厚は実際の膜厚ではなく、シミュレーション上の膜厚のことです。）

最適解光学定数計算膜厚依存性 単層膜付基板
波長：２４８　ｎｍ 波長：365　ｎｍ 波長：4３６　ｎｍ 波長：４８８　ｎｍ 波長：５４６　ｎｍ
最適解 最適解 最適解 最適解 最適解
計算膜厚 屈折率 消衰弱係数 248ｎｍ誤差 屈折率 消衰弱係数 365 nm 誤差 屈折率 消衰弱係数 436 nm 誤差 屈折率 消衰弱係数 488 nm 誤差 屈折率 消衰弱係数 546 nm 誤差 膜厚
d ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 d
ｎｍ 248 nm 248 nm ％ 365 nm 365 nm ％ 436 nm 436 nm ％ 488 nm 488 nm ％ 546 nm 546 nm ％ ｎｍ
41.4 2.1204 0.5786 0.599 2.2063 0.5319 0.256 2.2451 0.5087 0.558 2.2702 0.4923 0.604 41.40
42.4 2.1351 0.5642 0.563 2.2068 0.5209 0.240 2.2401 0.4992 0.529 2.2617 0.4837 0.583 42.40
43.4 2.1516 0.5501 0.520 2.2082 0.5103 0.221 2.2359 0.4900 0.500 2.2539 0.4754 0.560 43.40
44.4 1.7167 0.6817 0.405 2.1698 0.5371 0.484 2.2105 0.4999 0.201 2.2325 0.4811 0.468 2.2467 0.4673 0.535 44.40
45.4 1.8469 0.6512 0.392 2.1907 0.5243 0.440 2.2138 0.4901 0.182 2.2299 0.4725 0.435 2.2401 0.4594 0.508 45.40
46.4 1.9628 0.6259 0.391 2.2151 0.5116 0.395 2.2182 0.4807 0.183 2.2281 0.4641 0.399 2.2342 0.4518 0.482 46.40
47.4 2.0941 0.5995 0.382 2.2438 0.4990 0.462 2.2237 0.4714 0.199 2.2271 0.4558 0.361 2.2289 0.4445 0.455 47.40
48.4 2.2254 0.5755 0.487 2.2796 0.4870 0.589 2.2305 0.4623 0.234 2.2268 0.4480 0.409 2.2244 0.4373 0.474 48.40
49.4 2.3125 0.5545 0.621 2.3264 0.4746 0.741 2.2386 0.4533 0.285 2.2273 0.4403 0.507 2.2204 0.4305 0.512 49.40
50.4 2.3509 0.5391 0.755 2.3959 0.4611 0.942 2.2483 0.4448 0.344 2.2287 0.4329 0.613 2.2170 0.4237 0.551 50.40
51.4 2.3644 0.5262 0.867 2.2598 0.4366 0.409 2.2309 0.4257 0.723 2.2143 0.4171 0.590 51.40

２－４　光学定数波長特性　―　計算膜厚をパラメータとして

最適解光学定数波長特性ー計算膜厚をパラメータとして
計算膜厚　ｎｍ ４２．４ ４２．４ ４２．４ ４６．４ ４６．４ ４６．４ ５０．４ ５０．４ ５０．４
波長　 屈折率d1 消衰弱係数d1 誤差d１ 屈折率 消衰弱係数 誤差 屈折率d2 消衰弱係数d2 誤差d2
l ｎ1 ｋ1 DR+DTの平均1 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ2 ｋ2 DR+DTの平均2
ｎｍ ％ ％ ％
200 1.9209 0.6426 0.353 1.9747 0.5831 1.239
240 1.9792 0.6312 0.339 2.2721 0.5512 1.688
248 1.9988 0.6225 0.387 2.3727 0.5371 0.809
260 2.0417 0.6023 1.181 2.5595 0.5070 1.941
300 1.9548 0.6262 2.074 2.2100 0.5483 1.215
350 2.1089 0.5780 1.146 2.2154 0.5211 0.695
365 2.1351 0.5642 0.563 2.2151 0.5116 0.395 2.3959 0.4611 0.942
380 2.1600 0.5466 0.674 2.2185 0.4982 0.439 2.3342 0.4538 1.166
420 2.1978 0.5277 0.4980 2.2194 0.4855 0.317 2.2645 0.4478 0.799
436 2.2068 0.5209 0.240 2.2182 0.4807 0.183 2.2483 0.4448 0.344
450 2.2173 0.5145 0.384 2.2213 0.4759 0.284 2.2414 0.4415 0.437
488 2.2401 0.4992 0.529 2.2281 0.4641 0.399 2.2287 0.4329 0.613
546 2.2617 0.4837 0.583 2.2342 0.4518 0.482 2.2170 0.4237 0.661
600 2.2866 0.4637 0.647 2.2492 0.4347 0.575 2.2213 0.4090 0.489



（膜付基板データ関係のグラフ）

２－１－１　膜付基板分光カーブ測定値



２－２－１　最適解の光学定数と位相差グラフ


２－２－２　多重解誤差の波長依存性


２－２－３　多重解の光学定数の波長依存性


２－３－１　最適解誤差の計算膜厚依存性　（最適解誤差：与えられた波長と膜厚について複数の光学定数の解―いわゆる多重解―があり、その複数の解の中で最適な光学定数解が最適解です、これに対応する誤差が最適解誤差です。）


２－３－２　最適解光学定数の計算膜厚依存性


２－４－１　光学定数と誤差の波長特性　―　計算膜厚をパラメータとして

最適解光学定数計算膜厚依存性



最適解光学定数計算膜厚依存性 単層膜付基板
波長：２４８　ｎｍ 波長：365　ｎｍ 波長：4３６　ｎｍ 波長：４８８　ｎｍ 波長：５４６　ｎｍ
最適解 最適解 最適解 最適解 最適解
計算膜厚 屈折率 消衰弱係数 248ｎｍ誤差 屈折率 消衰弱係数 365 nm 誤差 屈折率 消衰弱係数 436 nm 誤差 屈折率 消衰弱係数 488 nm 誤差 屈折率 消衰弱係数 546 nm 誤差 膜厚
d ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ ｋ DR+DTの平均 d
ｎｍ 248 nm 248 nm ％ 365 nm 365 nm ％ 436 nm 436 nm ％ 488 nm 488 nm ％ 546 nm 546 nm ％ ｎｍ
41.4 2.1204 0.5786 0.599 2.2063 0.5319 0.256 2.2451 0.5087 0.558 2.2702 0.4923 0.604 41.40
42.4 2.1351 0.5642 0.563 2.2068 0.5209 0.240 2.2401 0.4992 0.529 2.2617 0.4837 0.583 42.40
43.4 2.1516 0.5501 0.520 2.2082 0.5103 0.221 2.2359 0.4900 0.500 2.2539 0.4754 0.560 43.40
44.4 1.7167 0.6817 0.405 2.1698 0.5371 0.484 2.2105 0.4999 0.201 2.2325 0.4811 0.468 2.2467 0.4673 0.535 44.40
45.4 1.8469 0.6512 0.392 2.1907 0.5243 0.440 2.2138 0.4901 0.182 2.2299 0.4725 0.435 2.2401 0.4594 0.508 45.40
46.4 1.9628 0.6259 0.391 2.2151 0.5116 0.395 2.2182 0.4807 0.183 2.2281 0.4641 0.399 2.2342 0.4518 0.482 46.40
47.4 2.0941 0.5995 0.382 2.2438 0.4990 0.462 2.2237 0.4714 0.199 2.2271 0.4558 0.361 2.2289 0.4445 0.455 47.40
48.4 2.2254 0.5755 0.487 2.2796 0.4870 0.589 2.2305 0.4623 0.234 2.2268 0.4480 0.409 2.2244 0.4373 0.474 48.40
49.4 2.3125 0.5545 0.621 2.3264 0.4746 0.741 2.2386 0.4533 0.285 2.2273 0.4403 0.507 2.2204 0.4305 0.512 49.40
50.4 2.3509 0.5391 0.755 2.3959 0.4611 0.942 2.2483 0.4448 0.344 2.2287 0.4329 0.613 2.2170 0.4237 0.551 50.40
51.4 2.3644 0.5262 0.867 2.2598 0.4366 0.409 2.2309 0.4257 0.723 2.2143 0.4171 0.590 51.40


最適解光学定数と誤差波長特性ー計算膜厚をパラメータとして


最適解光学定数波長特性ー計算膜厚をパラメータとして
計算膜厚　ｎｍ ４２．４ ４２．４ ４２．４ ４６．４ ４６．４ ４６．４ ５０．４ ５０．４ ５０．４
波長　 屈折率d1 消衰弱係数d1 誤差d１ 屈折率 消衰弱係数 誤差 屈折率d2 消衰弱係数d2 誤差d2
l ｎ1 ｋ1 DR+DTの平均1 ｎ ｋ DR+DTの平均 ｎ2 ｋ2 DR+DTの平均2
ｎｍ ％ ％ ％
200 1.9209 0.6426 0.353 1.9747 0.5831 1.239
240 1.9792 0.6312 0.339 2.2721 0.5512 1.688
248 1.9988 0.6225 0.387 2.3727 0.5371 0.809
260 2.0417 0.6023 1.181 2.5595 0.5070 1.941
300 1.9548 0.6262 2.074 2.2100 0.5483 1.215
350 2.1089 0.5780 1.146 2.2154 0.5211 0.695
365 2.1351 0.5642 0.563 2.2151 0.5116 0.395 2.3959 0.4611 0.942
380 2.1600 0.5466 0.674 2.2185 0.4982 0.439 2.3342 0.4538 1.166
420 2.1978 0.5277 0.4980 2.2194 0.4855 0.317 2.2645 0.4478 0.799
436 2.2068 0.5209 0.240 2.2182 0.4807 0.183 2.2483 0.4448 0.344
450 2.2173 0.5145 0.384 2.2213 0.4759 0.284 2.2414 0.4415 0.437
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