光学定数解析用データ書式 いさお光工房
ＩＴＯ膜の測定結果例(文献 Bender et. al (1998)のTable 1 Sample no.1 の透過率及び反射率分光カーブ（Fig.2
(a),(b)および光学定数解析結果（Fig.3 (a),(b))に対応するように資料を作成しました。エクセルデータの例、膜付基板データ一覧 もご覧下さい。
| 膜厚 |
波長 |
反射率相対値 |
反射率 |
透過率 |
| ｄ |
λ |
RR |
R |
T |
| ｎｍ |
ｎｍ |
％ |
％ |
％ |
| 93.0 |
300 |
27.86 |
25.66 |
54.49 |
|
325 |
18.44 |
17.01 |
70.12 |
|
350 |
9.99 |
9.22 |
84.00 |
|
375 |
7.53 |
6.96 |
87.87 |
|
400 |
8.76 |
8.11 |
86.24 |
|
425 |
11.07 |
10.25 |
84.43 |
|
450 |
13.06 |
12.08 |
83.28 |
|
475 |
14.40 |
13.30 |
82.46 |
|
500 |
15.16 |
13.96 |
81.96 |
|
525 |
15.26 |
14.01 |
82.03 |
|
550 |
14.86 |
13.61 |
82.62 |
|
575 |
14.29 |
13.06 |
83.46 |
|
600 |
13.52 |
12.28 |
84.16 |
|
625 |
12.40 |
11.21 |
84.50 |
|
650 |
11.28 |
10.14 |
84.84 |
|
675 |
10.38 |
9.28 |
85.45 |
|
700 |
9.53 |
8.47 |
86.00 |
|
725 |
8.62 |
7.60 |
86.14 |
|
750 |
7.74 |
6.78 |
85.93 |
|
775 |
7.02 |
6.10 |
85.56 |
|
800 |
6.52 |
5.64 |
85.14 |
Bender et. al ," Dependence of oxygen flow on optical and electrical
properties of DC-magnetron sputtered ITO films",Thin Solid Films ,Vol.326,72-77,(1998)