光学定数解析結果例 いさお工房
ＩＴＯ膜の測定結果例(文献 Bender et. al (1998)のTable 1 Sample no.1 の透過率及び反射率分光カーブ（Fig.2
(a),(b)および光学定数解析結果（Fig.3 (a),(b))に対応するように資料を作成しました。エクセルデータ、膜付基板データ一覧 もご参照下さい。
| 波長 |
屈折率 |
消衰弱係数 |
誤差１ |
| l |
ｎ |
100ｋ |
ΔR+ΔTの平均 |
| ｎｍ |
|
|
％ |
| 300 |
2.250 |
7.090 |
|
| 325 |
2.154 |
4.075 |
|
| 350 |
2.068 |
2.132 |
|
| 375 |
2.008 |
1.730 |
|
| 400 |
1.959 |
2.087 |
0.77 |
| 425 |
1.904 |
2.170 |
0.59 |
| 450 |
1.882 |
2.055 |
0.44 |
| 475 |
1.832 |
2.014 |
0.46 |
| 500 |
1.801 |
2.051 |
0.70 |
| 525 |
1.766 |
2.080 |
1.04 |
| 550 |
1.731 |
2.050 |
1.19 |
| 575 |
1.700 |
1.954 |
1.16 |
| 600 |
1.670 |
2.053 |
1.03 |
| 625 |
1.635 |
2.542 |
0.92 |
| 650 |
1.600 |
3.057 |
0.89 |
| 675 |
1.570 |
3.296 |
0.85 |
| 700 |
1.540 |
3.558 |
0.69 |
| 725 |
1.503 |
4.151 |
0.74 |
| 750 |
1.459 |
5.010 |
0.85 |
| 775 |
1.410 |
6.049 |
0.84 |
| 800 |
1.358 |
7.066 |
0.87 |
Bender et. al, " Dependence of oxygen flow on optical and electrical
properties of DC-magnetron sputtered ITO films",Thin Solid Films ,Vol.326,72-77,(1998)