取得特許     いさお工房
(日本真空技術(株)勤務時代)
1.特許706311[S48.10.17] 発明者 連名
  名称 チタニウムーニオブ基の3元合金からなる超伝導材料
2.特許674151[S48.1.24] 発明者 連名
  名称 チタニウムーニオブ基の合金からなる超伝導材料
3.特許1011634[S55.8.29] 発明者 徳 昭彦(悳 昭彦と同一人,悳は徳の古字です。)
  名称 超伝導体コイルの製造方法
4.特許1131474[S58.1.7] 発明者 連名
  名称 熱線遮断型スクリーン装置
5.特許991084[S55.3.27] 発明者 いさお 昭彦
  名称 薄膜形成装置における膜厚監視装置
6.特許1032262[S56.1.29] 発明者 とく 昭彦
  名称 薄膜形成装置における膜厚監視装置
7.特許1117573[S57.10.15] 発明者 徳 昭彦
  名称 薄膜形成装置における膜厚監視方法
8.特許1157099[S58. 7.15] 発明者 徳 昭彦
  名称 薄膜形成装置における膜厚制御方法
9.特許1209313[S59.5.29] 発明者 連名
  名称 管内面コーティング方法
10.特許1199197[S59.4. 5] 発明者 徳 昭彦
  名称 管内面コーティング装置における張力制御装置
11.特許1291041[S60.11.29] 発明者 徳 昭彦
  名称 管内面コーティング装置の制御方法
12.特許1284954[S60.10. 9]
  名称 真空蒸着多層膜形成装置
13.特許1375750[S62.4.22] 発明者 徳 昭彦
  名称 薄膜形成装置における膜厚監視装置
14.特許1329504[S56.12.29] 発明者 徳 昭彦
   名称 反応蒸着によって不均質薄膜を形成する方法
15.特許1370593[S62.3.25] 発明者 徳 昭彦
   名称 真空蒸着多層膜形成装置
16.特許1397051[S62.8.24] 発明者 徳 昭彦
   名称 多層薄膜形成装置における膜厚監視装置
17.特許1647977[H 4. 3.13] 発明者 徳 昭彦
   名称 不均質光学膜形成装置における膜特性監視装置

(アルバック成膜(株)勤務時代)
18.特許1504299[平 1. 6.28] 発明者 連名
   名称 太陽熱集熱用選択吸収膜の製造法
19.特許1329500[昭61. 7.30] 発明者 連名
   名称 二元蒸着によって不均質光学的薄膜を形成する方法
20.特許1257516[昭60.3.29] 発明者 連名
   名称 反応蒸着によって不均質光学的薄膜を形成する方法
21.特許1923390[平 7.4.25] 発明者 連名
   名称 フォトマスクおよびその製造方法
22.特許1923391[平 7.4.25] 発明者 連名
   名称 フォトマスクおよびその製造方法
23.特許2648167[平 9.5. 9] 発明者 悳 昭彦
   名称 プラズマ電子ビーム加熱装置
24.特許3000303[平11.11.12] 発明者 悳 昭彦
   名称 真空蒸着装置における光学定数と膜厚の測定方法及び測定装置
25.特許2992839[平11.10.22] 発明者 悳 昭彦
   光学定数と膜厚の測定方法及装置
26.特許3261659[平13.12.21] 発明者 悳 昭彦
   名称 ドライエッチング装置に於けるエッチング監視方法及び装置
27.特許3261660[平13.12.21] 発明者 悳 昭彦
   名称 ドライエッチングにおけるエッチングモニター方法
28.特許3177552[平13. 4. 6] 発明者 連名
   名称 フォトマスク用ドライエッチング装置
29.特許3355444[平14.10. 4] 発明者 連名
   名称 フォトマスクのドライエッチング方法
30.特許3256345[平13.11.30] 発明者 連名
   名称 フォトマスクブランクスおよびフォトマスク
31.特許3270950[平14. 1.25] 発明者 連名
   名称 位相シフトフォトマスクブランクス生産方法
32.特許3270951[平14. 1.25] 発明者 連名
   名称 位相シフトフォトマスクの位相差調整方法
33.特許3355445[平14.10. 4] 発明者 連名
   名称 位相シフトフォトマスクブランクス生産方法
34.特許3401058[平15. 2.21] 発明者 連名
   名称 薄膜の光学的特性測定方法及びその装置
35.特許3594659[平16. 9. 8] 発明者 連名
   名称 位相シフトフォトマスクブランクス製造方法,位相シフトフォトマスクブランクス

トップ 目次付画面 いさお工房トップ 光学定数の解析 業務内容
いさお工房連絡先 略歴 開発歴 論文・著作 特許